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5-3-6 ÖÎÁÆ30ÌìºóµÄ´´ÃæÆä±íƤ×éÖ¯  £¬ÕæÆ¤×éÖ¯½á¹¹ÒѳÊÉúÀí״̬  HE¡Á20

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5-3-10 ͬÉÏ  HE¡Á40

         

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5-3-14 MEBT/MEBOÖÎÁÆ20Ìì  £¬4¸ö¼¬Ï¸°ûµÄÇÅÁ£Á¬½Ó   TEM¡Á3500

         

5-3-15 ÇÅÁ£½á¹¹ TEM¡Á20000

         

5-3-16 ¿ÅÁ£Ï¸°û  TEM¡Á3500

         

5-3-17 »ùµ×ϸ°û²ã£¨ºÚÉ«ËØÐ¡Ì壩  TEM¡Á6000

         

5-3-18 ÍÌÊÉϸ°û»îÔ¾  TEM¡Á6000

         

5-3-19 MEBT/MEBOÖÎÁÆ20Ìì  £¬Ê¾ÏËάĸϸ°û  £¬¼°Óë»ùµ×Ĥ°ëÇÅÁ£Á¬½ÓµÄÉÏÆ¤Ï¸°û TEM¡Á3000

         

5-3-20 ´ÖÃæÄÚÖÊÍø½á¹¹ºÍÏßÁ£ÌåÔöÉú»îÔ¾  TEM¡Á17000

         

5-3-21 ͬÉÏ  TEM¡Á20000

          

5-3-22 MEBT/MEBOÖÎÁÆ30Ìì  £¬ÕûÆëÅÅÁеĽºÔ­ÏËά  £¬ÏËά¾ùÔÈÒ»ÖÂÖ± ¾¶ 0.1¡«0.5µm  £¬ÓÐÃ÷°µÏà¼äµÄÖÜÆÚÐÔºáÎÆ£¨64nm)

(ÏôĦ¡¢ÕÔ¿¡Ïé)
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